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日本アルキルアルミは高品質のアルキルアルミを安全・安定的にご供給します。ポリエチレン・ポリプロピレン等のポリオレフィン、合成ゴムの重合に欠かせない触媒アルキルアルミニウム化合物を全てラインアップ。また、医薬品合成用の還元剤及び不斉合成用触媒原料・電子情報材料用原料として重要な各種有機金属化合物もラインアップしています。
日本アルキルアルミは高品質のアルキルアルミを安全・安定的にご供給します。ポリエチレン・ポリプロピレン等のポリオレフィン、合成ゴムの重合に欠かせない触媒アルキルアルミニウム化合物を全てラインアップ。また、医薬品合成用の還元剤及び不斉合成用触媒原料・電子情報材料用原料として重要な各種有機金属化合物もラインアップしています。

 

 

 

有機金属化合物やその水素化物は、医薬品原体・中間体の合成反応をスマートに進行させる役割を果たしてくれます。日本アルキルアルミ(株)は、アルキルアルミニウム類を初めとして、下記のような高純度の有機金属化合物をコマーシャルスケールで製造・供給いたしております。

【アルキルアルミニウム類】  
1. DIBAH(ジイソブチルアルミニウムハイドライド) (i-C4H9)2AlH
2. DEZ (ジエチル亜鉛) (C2H5)2Zn
3. TBB (トリブチルボロン) (C4H9)3B
4. TMA (トリメチルアルミニウム) (CH3)3Al
5. TEAL (トリエチルアルミニウム) (C2H5)3Al
   

合成反応への応用例

 

1. DIBAH : 還元剤

2. DEZ

   

アルキルアルミニウムを初めとして、各種の有機金属化合物はMOCVD( Metal Organic Chemical Vapor Deposition )に使用され、半導体の製造に役立っております。

当社の製品にも、MOCVD用に使用されている化合物及び、半導体の銅配線コンタクト用材料があります。

日本アルキルアルミは高品質のアルキルアルミを安全・安定的にご供給します。ポリエチレン・ポリプロピレン等のポリオレフィン、合成ゴムの重合に欠かせない触媒アルキルアルミニウム化合物を全てラインアップ。また、医薬品合成用の還元剤及び不斉合成用触媒原料・電子情報材料用原料として重要な各種有機金属化合物もラインアップしています。
太陽電池パネル

【当社の電子情報材料用有機金属化合物】

製品名 用途
トリエチルアルミニウム(TEAL) 窒化アルミ製造原料、トリエチルガリウム(TEG)製造原料
トリメチルアルミニウム(TMA) トリメチルガリウム(TMG)製造原料、シリコン半導体ドープ材原料
ジエチル亜鉛(DEZ) 薄膜太陽電池の透明酸化亜鉛膜用原料
ジメチルアルミニウムハイドライド(DMAH) (開発品) 半導体銅配線コンタクト材料
DMAHについて(開発品)

   Dimethylaluminium hydride (DMAH) Al(CH3)2H

 ジメチルアルミニウムハイドライド(DMAH)はメチル基2つと水素1つがアルミニウムに結合した有機金属化合物で、MOCVD原料ガスとして半導体デバイスのアルミ成膜用途に使用されます。DMAHは製膜性に優れ、膜に残留するカーボンが少ない等の利点があり、今後さらに利用が広まっていくと期待されています1)‐19)

    参考文献

1) He, Gang; Deng, Bin et al, Sci. Adv. Mater. (2013), 5(6), 709-712.
2) He, Gang; Sun, Zhaoqi et al, J. Mater. Chem. (2012), 22(15), 7468-7477.

3) Lu, Hong-Liang; Wang, Xiao-Liang et al, Appl. Phys. Lett. (2009), 95(21), 212102/1-

    212102/3

4) Miyajima, Shinsuke; Yamada, Akira et al, Jpn. J. Appl. Phys. (2007), 46(4A), 1415-1426

5) Imaizum, Yoshiaki; Mekaru, Harutaka; Urisu, Tsuneo, Appl. Organometal. Chem.

   (1999), 13(3), 195-200.

6) Sugai, Kazumi; Kishida, Shunji et al, J. Electrochem. Soc. (1997), 144(3), 1028-1035.

7) Kondoh, Eiichi; Kawano, Yumiko et al, J. Electrochem. Soc. (1994), 141(12), 3494-

   3499.

8) 坪内和夫・益一哉『固体物理』(1994), 29(7), 599-605.

9) 坪内和夫・益一哉『応用物理』(1993), 62(12), 1225-1229.

10) Tani, Kouichi; Nishikawa, Satoshi, Jpn. J. Appl. Phys. (1994), 33(1B), 455-458.

11)  Takeyasu, Nobuyuki; Kawano, Yumiko et al, Jpn. J. Appl. Phys. (1994), 33(1B),

     424-428.

12) Kawai, Takao; Hanabusa, Mitsugu, Jpn. J. Appl. Phys. (1993), 32(10), 4690-4693.

13) Ohashi, Masafumi; Shogen, Satoshi et al, J. Appl. Phys. (1993), 73(7), 3549-3554.

14) Tsubouchi, Kazuo; Masu, Kazuya et al, Jpn. J. Appl. Phys. (1993), 32(1B), 278-

     281.

15) Uesugi, Fumihiko; Nishiyama, Iwao, Appl. Surf. Sci. (1992), 62(3), 151-156.

16) Uesugi, Fumihiko; Nishiyama, Iwao, Appl. Surf. Sci. (1992), 60-61, 587-591.

17) Zhu, Nongfan; Cacouris, Ted et al, J. Vac. Sci. Technol.B? (1992), 10(3), 1167-

     1176.

18) Hanabusa, Mitsuga; Ikeda, Masashi, Appl. Organometal. Chem (1991), 5(4), 289-

     293.

19) Tsubouchi, Kazuo; Masu, Kazuya et al, Appl. Phys. Lett. (1990), 57(12), 1221-

    1223.

 

日本アルキルアルミは高品質のアルキルアルミを安全・安定的にご供給します。ポリエチレン・ポリプロピレン等のポリオレフィン、合成ゴムの重合に欠かせない触媒アルキルアルミニウム化合物を全てラインアップ。また、医薬品合成用の還元剤及び不斉合成用触媒原料・電子情報材料用原料として重要な各種有機金属化合物もラインアップしています。

 

 
 
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